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1.高生长速率、低缺陷密度。
2.横向纵向生长比率高、孔洞少，可以生长大面积厚膜。
3.外延速率：≥200微米/小时。
4.氧化镓异质外延厚度：>10微米。
5.外延片尺寸：2/4/6/8英寸。
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