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LPE氮化物晶体生长炉
产品参数
简介: 1.Na助溶剂液相外延生长2-4-6英寸GaN晶片,也可用于高压助熔剂法探索新型氮化物晶体。 2.助熔剂法(Na FLUX METHOD)生长氮化镓(GaN)单晶具有诸多优势是目前国际上公认的可实现高质量、大尺寸氮化镓体单晶产业化生产的生长技术之一。 3.双温区加热,最高使用温度1100°C,最高压力7 Mpa。 4.氮气溶解速度快,分布均匀,生长速度可达20 微米/小时。 5.可外延生长高结晶质量和低位错密度的单晶。
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